半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路設(shè)計(jì)理念

  安全理念，我們做到了對(duì)實(shí)驗(yàn)設(shè)備可能產(chǎn)生的有害廢氣、廢水進(jìn)行特殊設(shè)計(jì)、處理，保障實(shí)驗(yàn)人員的身體健康;在安全出口方面考慮到的都是根據(jù)具體情況設(shè)計(jì)的zui短的逃生路線，優(yōu)化洗眼器及緊急沖淋裝置的位置，增加了發(fā)生以外事故的逃生幾率，減少了突發(fā)情況                                  
   合理的布局，對(duì)實(shí)驗(yàn)室家具、介質(zhì)系統(tǒng)進(jìn)行正確設(shè)計(jì)、合理選材、規(guī)范施工 ，根據(jù)人體工程學(xué)原理，生產(chǎn)出zui人性化的設(shè)備，符合絕大部分人的要求。同時(shí)在通風(fēng)設(shè)施上的安裝布局都是按照標(biāo)準(zhǔn)來執(zhí)行的，保證了實(shí)驗(yàn)人員有一個(gè)良好的工作環(huán)境。

半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路

   近年來實(shí)驗(yàn)室投資的不斷加大，儀器設(shè)備的迅速增加，用氣量也逐年增加，傳統(tǒng)的供氣模式已經(jīng)難以滿足儀器設(shè)備增加的需求，同時(shí)分散供氣模式帶來的實(shí)驗(yàn)室布局混亂，鋼瓶的頻繁更換也對(duì)實(shí)驗(yàn)室的管理和維護(hù)造成了困難，為了解決以上兩個(gè)方面的問題，就需要一套安全性高且能實(shí)現(xiàn)集中分配供氣的系統(tǒng)完成從氣源向儀器的供氣，這就是實(shí)驗(yàn)室高純氣體管道系統(tǒng)的功能所在。

   實(shí)驗(yàn)室氣體采用集中供氣方式，由實(shí)驗(yàn)室外專用供氣區(qū)域用管路引進(jìn)。除了潔凈空氣由空氣壓縮系統(tǒng)直接產(chǎn)生外，其余氣體都是采用高壓氣瓶供氣。每種氣體都要有主供和備供氣瓶，并安裝自動(dòng)切換面板進(jìn)行供氣控制，保證不間斷供氣。另外主要的控制閥門和減壓閥門都應(yīng)安裝在實(shí)驗(yàn)室外。實(shí)驗(yàn)室氣體由不銹鋼管路輸送，一般1.5米內(nèi)并必須有支架固定在墻面。在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)所有管路安裝在天花板下方，沿墻進(jìn)行明設(shè)。所有管路標(biāo)明連接的氣體。氣體管路每隔1.5米的距離，都要有明確標(biāo)示，同時(shí)指示氣體的流向。所有減壓器都需要連接一條通出氣體存藏區(qū)的排氣管路。易燃、氧化氣體排氣管路不能并在一起。所有設(shè)計(jì)和施工必須符合相關(guān)的規(guī)范和要求，如：《科學(xué)實(shí)驗(yàn)室建筑設(shè)計(jì)規(guī)范》–JGJ 91-93；《氫氣使用安全技術(shù)規(guī)程》-GB 4962-1985；《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》-GB50236-1998。